SEM掃描電鏡，即掃描電子顯微鏡，是一種利用聚焦的高能電子束掃描樣品表面，通過激發(fā)和收集物理信息，對(duì)物質(zhì)微觀形貌進(jìn)行表征的精密儀器。其分類可以從多個(gè)角度進(jìn)行，以下是從電子槍種類和掃描方式兩個(gè)主要角度的分類介紹：

一、按電子槍種類分類

鎢燈絲掃描電鏡

特點(diǎn)：使用鎢絲作為電子發(fā)射源，通過熱發(fā)射方式產(chǎn)生電子束。鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好，低真空下可以對(duì)不導(dǎo)電樣品無荷電成像。

應(yīng)用：適合大量的常規(guī)檢測(cè)，廣泛應(yīng)用于材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機(jī)械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

特點(diǎn)：具有高分辨率，可分為冷場(chǎng)發(fā)射和熱場(chǎng)發(fā)射兩種。冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的電子束直徑*小，亮度*高，影像分辨率*優(yōu)，但真空條件要求高，束流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短。熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡則能在較差的真空度下操作，維持較佳的發(fā)射電流穩(wěn)定度，連續(xù)工作時(shí)間長，還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析。

應(yīng)用：冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡主要用于材料科學(xué)、化學(xué)領(lǐng)域的分析；熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡則廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)技術(shù)等領(lǐng)域的微觀研究和分析。

六硼化鑭掃描電鏡

特點(diǎn)：使用六硼化鑭作為電子發(fā)射源，亮度比鎢絲高，使用壽命也較長，但需要在較好的真空環(huán)境下操作。

應(yīng)用：因其性能介于鎢燈絲和場(chǎng)發(fā)射之間，所以在某些特定領(lǐng)域也有應(yīng)用。

二、按掃描方式分類

點(diǎn)掃

特點(diǎn)：對(duì)樣品的某一位置進(jìn)行微區(qū)元素分析，掃描能譜的面積較小。

應(yīng)用：用于測(cè)試樣品某一點(diǎn)位置上的形貌及能譜信息。

線掃

特點(diǎn)：與點(diǎn)掃類似，但掃描能譜的面積相對(duì)較大，適用于對(duì)樣品某一條線位置上的形貌及能譜信息進(jìn)行測(cè)試。

面掃

特點(diǎn)：對(duì)樣品某一面上的形貌及能譜信息進(jìn)行全面測(cè)試，可以獲得更全面的元素分布信息。

應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于各種需要全面了解樣品表面形貌和元素分布的領(lǐng)域。

此外，還有一種特殊類型的掃描電鏡——環(huán)境掃描電鏡，它采用多級(jí)真空壓差技術(shù)，可以在較高的氣壓、濕度和壓力下工作，特別適用于觀察新鮮活體生物樣品等需要保持樣品原始狀態(tài)的場(chǎng)景。

綜上所述，SEM掃描電鏡的分類多種多樣，不同類型的掃描電鏡在性能和應(yīng)用上各有特點(diǎn)，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的類型進(jìn)行使用。