臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)是集成化成像分析系統(tǒng)。使用它既可以觀察樣品的形貌，同時(shí)又能進(jìn)行元素的定性和定量分析。除了元素的點(diǎn)分析，元素的線(xiàn)面掃功能可以進(jìn)一步分析元素的分布情況。

不同價(jià)位的臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)略有不同，主要是以下三個(gè)方面的質(zhì)量差異。

1、電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。

2、鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏、檢測(cè)器等部件。這些部件通常從上到下組裝成一個(gè)圓柱體。

3、電子透鏡用于聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中很重要的部分。一般使用磁透鏡，有時(shí)也使用靜電透鏡。

它利用與鏡筒軸對(duì)稱(chēng)的空間電場(chǎng)或磁場(chǎng)，使電子軌跡向軸彎曲，形成焦點(diǎn)。其作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡（凸透鏡）一樣，使光束聚焦，故稱(chēng)為電子透鏡。光學(xué)鏡頭的焦點(diǎn)是固定的，而電子鏡頭的焦點(diǎn)是可以調(diào)節(jié)的，因此電子顯微鏡沒(méi)有光學(xué)顯微鏡那樣的可移動(dòng)鏡頭系統(tǒng)。

大多數(shù)現(xiàn)代電子顯微鏡都使用電磁透鏡，電子被非常穩(wěn)定的直流激勵(lì)電流通過(guò)帶極靴的線(xiàn)圈產(chǎn)生的強(qiáng)磁場(chǎng)聚焦。電子源由釋放自由電子的陰極、柵極和以環(huán)形加速電子的陽(yáng)極組成。陰極和陽(yáng)極之間的電壓差需要很高，一般在幾千伏到三百萬(wàn)伏之間。它能以均勻的速度發(fā)射并形成電子束，因此加速電壓的穩(wěn)定性不低于萬(wàn)分之一。

樣品可以穩(wěn)定地放置在樣品架上，常有可以改變樣品的裝置（如移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、加熱、冷卻、拉長(zhǎng)等）。

電子顯微鏡按其結(jié)構(gòu)和用途可分為透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡、反射電子顯微鏡和發(fā)射電子顯微鏡。