掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。

SEM掃描電鏡光闌簡介

光闌是光學(xué)成像系統(tǒng)關(guān)機(jī)零件，在相機(jī)和顯微鏡中普遍使用，一般稱作光圈。如果對(duì)光圈的概念不了解，說明對(duì)光學(xué)成像儀器裝置還沒入門。光闌要在多級(jí)透鏡組的軸線上，光闌ZX務(wù)必與透鏡軸心保持機(jī)械同心。掃描電鏡的電子透鏡系統(tǒng)也要使用光闌，并且光闌孔的尺寸可調(diào)。

掃描電鏡光闌的作用：

1、過濾電子束中的遠(yuǎn)軸電子，減小電子透鏡球差影響。

2、改變孔徑角度，從而調(diào)節(jié)圖像景深，并且減小電子透鏡色差影響。

SEM掃描電鏡光闌是消耗品：

一般光學(xué)儀器光闌設(shè)計(jì)是性的，即使是活動(dòng)光闌，其壽命也是和機(jī)器終身壽命一致的。掃描電鏡光闌不同，光闌材料采用鉑金或者鉬金，由于電子束具有很高能量，具有破壞力，并且光闌污染后需要高溫灼燒(500-800℃)，尤其高溫灼燒，對(duì)光闌的損傷是Z大的。對(duì)因此光闌的壽命相對(duì)于掃描電鏡壽命顯得非常短。一般正常使用壽命為一年。