sem掃描電鏡下班或過(guò)夜停止工作前盡量做到以下幾點(diǎn)哦：(1) 關(guān)閉高壓電源，因高壓電源易引起電子線路中元器件的擊穿、燒毀，高壓關(guān)閉后既能節(jié)能又能減小設(shè)備的故障率，特別是減小高壓發(fā)生器的故障率。

(2) 取出分析完的試樣后，樣品倉(cāng)和交換倉(cāng)全都要立即抽回真空，讓樣品倉(cāng)盡快回到高真空狀態(tài)，而不要處于低真空或環(huán)境狀態(tài)，這樣不僅可減少對(duì)樣品倉(cāng)和鏡 筒的污染，以及縮短下次做樣時(shí)的抽真空時(shí)間，也不會(huì)使水蒸氣輕易地積聚在機(jī)械泵中，導(dǎo)致泵油混濁、質(zhì)量變差、機(jī)械泵頻繁維修。

(3) 如果在樣品臺(tái)上安裝了熱電效應(yīng)的冷卻臺(tái)，系統(tǒng)處于夜間模式或長(zhǎng)期待機(jī)時(shí)要拆下來(lái)。

(4) 拉大物鏡焦距，即增大WD，可減小物鏡的激勵(lì)電流，即減少物鏡的發(fā)熱量。

(5) 把行掃描時(shí)間選長(zhǎng)一點(diǎn)，讓行掃描處在慢掃描狀態(tài)，這樣可減少行掃描發(fā)生器的充/放電次數(shù)。

(6) 選擇大束斑，可減小聚光鏡的激勵(lì)電流，即減少聚光鏡的發(fā)熱量。

(7) 選擇高放大倍率，可減小偏轉(zhuǎn)線圈的激勵(lì)電流，即減少偏轉(zhuǎn)線圈的發(fā)熱量。

(8) 降低樣品臺(tái)的Z軸或讓樣品臺(tái)歸零，或回原位，鎖住搖桿或鎖住Z軸，以防止誤觸發(fā)。

(9) 把電鏡退到主界面程序，關(guān)閉顯示屏幕、打印機(jī)和無(wú)線光電鼠標(biāo)器等一些暫時(shí)不用的外圍輔助設(shè)施電源。

(10) 關(guān)緊氮?dú)馄亢陀糜诓ㄗV儀的P10氣瓶的閥門，以減少氮?dú)夂蚉10氣體的泄漏。

(11) ZUI后關(guān)閉實(shí)驗(yàn)室的照明電源和門窗。

當(dāng)節(jié)日放長(zhǎng)假時(shí)’除了要做好下班和過(guò)夜停止工作時(shí)所提到的注意事項(xiàng)外，還要以下幾點(diǎn)。

(1)鎢燈絲電鏡在周末和放長(zhǎng)假時(shí)可整機(jī)關(guān)閉，要用時(shí)再提前半小時(shí)開機(jī)，這樣既安全又節(jié)能、降耗。

(2) 若是配置油擴(kuò)散泵的電鏡，則在關(guān)閉主機(jī)后，應(yīng)再延長(zhǎng)35min以上再關(guān)閉 冷卻水源。若沒有自動(dòng)延時(shí)裝置，則應(yīng)人為地延長(zhǎng)35min之后再關(guān)閉冷卻水源，讓 ODP中的油、物鏡線圈和高壓部件都能得到充分冷卻，同時(shí)還可減少油蒸氣對(duì)樣品倉(cāng)的污染和減緩泵油的氧化。

(3) 對(duì)于配置分子泵的電鏡，在關(guān)閉主機(jī)后也應(yīng)延長(zhǎng)15min以上再關(guān)閉冷卻水源。

(4) 對(duì)于場(chǎng)發(fā)射電鏡，建議周末不要關(guān)機(jī)，如果放長(zhǎng)假可考慮讓電鏡處在“stand by”狀態(tài)，即只保留IGP工作，維持其電子槍的真空度，關(guān)閉其他電源，要用時(shí)提前半小時(shí)重新啟動(dòng)。