①掃描隧道顯微鏡具有原子級(jí)的高分辨率，STM在平行于樣品表面方向上的分辨率分別可以達(dá)到0.1nm和0.01nm，也就是能夠分辨出單個(gè)原子。

②掃描隧道顯微鏡能夠?qū)崟r(shí)的獲得樣品表面的三維圖像，可以用于具有周期性或者不具備周期性的表面結(jié)構(gòu)的研究，這種能夠?qū)崟r(shí)的觀測(cè)性能可以用于表面擴(kuò)散等動(dòng)態(tài)過程的研究。

③掃描隧道顯微鏡可以觀察單個(gè)原子層的局部表面結(jié)構(gòu)，而不是對(duì)體相或者整個(gè)表面的平均性質(zhì)，所以可直接觀察表面的缺陷。表面重構(gòu)，表面吸附體的形態(tài)與位置，以及由吸附體引起的表面重構(gòu)等。

④掃描隧道顯微鏡配合掃面隧道譜可以獲得關(guān)于表面電子結(jié)構(gòu)的信息，比如表面不同層次的態(tài)密度。表面電子阱，電荷密度波，表面勢(shì)壘的變化和能隙結(jié)構(gòu)等。

⑤掃描隧道顯微鏡能夠在常溫，真空，大氣等不同的環(huán)境下工作，甚至可以直接把樣品浸在水和其他溶液中，不需要特別的制樣技術(shù)，而且探測(cè)的過程對(duì)樣品不會(huì)有損傷。這些優(yōu)點(diǎn)非常適合用于研究生物樣品和在不同實(shí)驗(yàn)條件下對(duì)樣品表面的評(píng)價(jià)。

⑥利用掃描隧道顯微鏡針尖，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)原子及分子的移動(dòng)與操縱，這為納米技術(shù)的全面發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。

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