掃描電鏡是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的高分辨率微區(qū)形貌分析儀器。其特有的特點主要體現(xiàn)在以下幾個方面：

高分辨率與寬放大倍數(shù)范圍：

SEM掃描電鏡具有相當高的分辨率，一般可達到3.5~6nm，某些高性能型號甚至能達到1.0nm或更低。

放大倍數(shù)變化范圍大，一般為15~200000倍，某些型號的高放大倍數(shù)模式可達到800000倍。這種寬范圍的放大倍數(shù)使得掃描電鏡既適用于宏觀普查，也適用于微觀細節(jié)的觀察分析。

大景深與立體感：

SEM掃描電鏡的景深極大，約為光學顯微鏡的300倍，這使得掃描電鏡在觀察表面起伏程度較大的樣品時具有顯著優(yōu)勢。

由于景深大，SEM掃描電鏡所成的圖像富有立體感、真實感，易于識別和解釋。

制樣簡單與樣品多樣性：

掃描電鏡的樣品制備相對簡單，通常只需進行基本的清洗、干燥和導電處理。

SEM掃描電鏡可觀察的樣品種類豐富，包括大塊試樣（直徑可達30mm，半導體工業(yè)中可更大）、粉末、薄膜等，幾乎不損傷和污染原始樣品。

多功能分析：

掃描電鏡不僅可用于觀察樣品的形貌，還可與X射線譜儀等附件配接，進行微區(qū)成分分析。

配有光學顯微鏡和單色儀等附件時，SEM掃描電鏡還可觀察陰極熒光圖像和進行陰極熒光光譜分析等。

動態(tài)試驗與環(huán)境控制：

掃描電鏡可使用加熱、冷卻和拉伸等樣品臺進行動態(tài)試驗，觀察在不同環(huán)境條件下的相變及形態(tài)變化等。

SEM掃描電鏡通常配備有真空系統(tǒng)和高精度控制系統(tǒng)，以確保實驗環(huán)境的穩(wěn)定性和準確性。

先進的電子束系統(tǒng)：

掃描電鏡采用先進的電子束系統(tǒng)，如ZrO/W肖特基電子槍等，能夠提供穩(wěn)定、高亮度的電子束。

電子束系統(tǒng)通常配備有電流和電壓調(diào)節(jié)功能，以適應不同樣品的觀察需求。

廣泛的應用領域：

SEM掃描電鏡已被廣泛應用于生命科學、物理學、化學、司法、地球科學、材料學以及工業(yè)生產(chǎn)等領域的微觀研究。

在地球科學方面，掃描電鏡可用于結晶學、礦物學、礦床學、沉積學、地球化學、寶石學等多個分支學科的研究。

綜上所述，SEM掃描電鏡以其高分辨率、寬放大倍數(shù)范圍、大景深與立體感、制樣簡單與樣品多樣性、多功能分析、動態(tài)試驗與環(huán)境控制以及先進的電子束系統(tǒng)等特有特點，在科學研究和工業(yè)應用中發(fā)揮著重要作用。